薄膜沉積材料 Thin film deposition Materials

高純度的蒸鍍材料(High purity evaporation material)
濺鍍靶材 (Sputtering Target)
相關配件(Related accessories)
電子束蒸鍍坩鍋 (E-Beam Crucibles)
相關服務( Related Services)
靶材和背板貼合服務(Target Bonding Services)
廢料回收(Scrap Reclaim)

Bruckewell只提供最好的品質給我們的客戶,主要原料來自於歐美地區及日本等地,並在原產地加工或委台灣廠商加工
可提供純度99.9%至99.99999%的各式蒸鍍材料,適用於E-Gun及熱蒸鍍製程。

材質: 包含純元素( Pure Elements )、合金( Alloys ) 、貴金屬(Precious Metals) 及化合物( Compounds )
尺寸: 線段( Slug )、片狀( Flake )及顆粒狀( Granule )等各樣規格

 

此外,亦有客制化的坩鍋專用錠( Cone ),可以節省寶貴的製程作業時間。
可以依實際的坩鍋內部尺寸及所需高度,特別訂製各式大小的Cone。

 

 

 

[ 可提供材料種類如下 ]

Coating Material

Ag PT HfO2 TiO2
AgCu1.5 Rh In Ti-Pr-oxide
Al Sc2O3 In-Sn-oxide W
Al2O3 Si LaF3 WO3
Al-Pr-oxide Si-Ai-oxide La-Nb-oxide Y
Au SiO La-Ti-oxide Y2O3
AuGe12 SiO2 MgF2 Y-Ba-fluoride
BaF2 Sn MgO Yb-Ca-fluoride

 

[ 可提供材料種類如下 ]

Coating Material

CaF2 Ta (+Nb) Mo YbF3
CeF3 Ta2O5 Na3AlF6 YF3
CeO2 Ta2O5-x Nb (+Ta) ZnS
Cr Ti Nb2O5 Zr
Cr2O3 Ti2O3 Nb2O5-x ZrO
Cu Ti2O5 NdF3 ZrO2
Ge Ti-Al-oxide Ni Zr-Ta-oxide
Hf TiO Pd Zr-Ti-oxide